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ALICAT 氣體質量流量控制器 01系列采用了熱帖片式原理,而且克服了熱式對于預熱時間的要求,01系列的預熱時間僅需要70ms,且保證了流量控制的穩定性和精確度。01系列測量和控制范圍高達0.5 ~ 100%,可以滿足更多的客戶流量控制應用場合。
ALICAT 截止閥質量流量控制器 21VS系列采用內部補償型層流壓差技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。
ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器采用內部補償型層流壓差技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。
ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列同我們的標準控制器一樣,能對需要較高管線壓力(160-320 PSI絕壓)的應用環境進行快速控制響應。
ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型采用內部補償型層流壓差技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。